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质量流量控制器在动态校准仪上的应用

多组分混合标准气体是环保行业实现监测设备多点标定的重要工具,以质量流量控制器为配气部件的动态校准仪(或动态气体稀释装置等),利用高浓度标气和零气,通过对各气路气体流量的精确控制,实现多浓度点气体的连续、稳定配制,并以低成本、智能检测、自动配气、不受使用环境温度和压力影响等优势被广泛应用。

流量控制器在动态配气仪中起着重要作用。稳定、高重复的标气和零气精准流量控制,可提升动态校准仪高精度、连续、稳定输出浓度。

客户应用背景

作为动态校准仪的知名研发生产商,对流量控制器的现场表现有多方面的实际需求。气体流量控制器的重复性和可靠性、微小的漏气、不同温度压力下的精度保持能力等问题,最终会对客户造成不同程度的困扰。提高动态校准仪的精度和稳定性,减少最终用户的长期使用和维护成本,成为发展和技术进步的方向。

关键关注点

• 高重复性的配气

• 对温度和压力漂移,环境适应性好

• 对前端压力波动不敏感

• 宽量程精度保持能力(例如20%~100%或10%~100%量程范围内达到±1%S.P.)

• 高可靠,长期精度不漂移,控制稳定性好

• 要求对低浓度的NH3/SO2/CO等气体有较好的抗污染能力

动态校准仪简化原理框图

解决方案

提高动态校准仪连续稳定的输出浓度,易度提供了MCF100系列层流压差式质量流量控制器作为标准配气元件,选用阀门后置型产品,可监测前端气体压力,并选取了几种不同的量程,典型气体流量为100SCCM和10SLPM的质量流量控制器,精度为±1.0% S.P.。

• 内置的比例调节阀和流量传感器具有高分辨率和稳定性

• 内置的绝压和温度传感器,具有-20~50℃,0~1MPa的宽环境适应性

• 层流压差式流量控制器具有极快的反馈控制速度,对前端压力不敏感

• 层流压差式流量控制器具有宽量程精度保持能力的原理性优势

• 层流压差式原理,高性能压力、压差传感器和比例阀门是长期可靠性的基石

• 自研的压力和压差传感器对低浓度腐蚀性气体不敏感,有较好的抗污染能力

易度流量控制器采用层流压差式原理,在气体流量控制的精度和重复性上有明显的优势,100:1的量程比(可定制更高量程比),在小流量段也能实现毫秒级快速控制。比例调节阀在设计中充分考虑密封性和内漏问题,将客户的关键关注点完美解决,帮助客户将动态配气仪提升到更高品质和更优性能。

推荐产品

MCF100系列

• 流量范围: 0.1SCCM~5000SLPM

• 精度:±1.0%S.P.

• 重复性:±0.2%F.S.

• 通讯方式:RS485(Modbus RTU)

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